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本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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AWE2026以“AI科技 慧享未来”为主题,于3月12-15日在上海新国际博览中心与上海东方枢纽国际商务合作区两地正式举行,首次采用“一展双区” 创新模式,汇聚1200余家国内外头部企业与创新力量,四天展会圆满收官。
本站特派记者团全程深入展会现场,沉浸式体验前沿科技与创新产品。经过多维度体验,我们从消费电子、智能家电、清洁电器等热门赛道中,精选出五款令人印象深刻的重磅产品,成为“Best in AWE2026”。这些产品不仅设计前沿、体验出众,更搭载了行业领先的AI技术与硬核创新方案,在场景适配、智能交互、性能效率等方面都实现了突破性升级。让我们一起来看看!
TCL首款OLED+旗舰显示器X3A——全新一代OLED+技术
TCL实业在AWE现场打造了“Inspire the Passion”品牌活力乐园,携前沿屏显科技及AI全品类科技亮相,其中更先锋的屏显科技带来了沉浸式的感官体验。

首款OLED+旗舰显示器X3A采用全新一代OLED+技术,在OLED屏幕上进行了升级,解决了传统OLED文字彩边、强光发紫的痛点。采用Matrix-Pure超清矩阵像素技术重构子像素,可以减少光的互相干扰。而且OLED+采用圆偏振光低反技术,能达到2%的低反率,黑场也更深邃通透,画面色彩还原度达到专业级水准。

并且在工业设计方面,X3A机身最薄处仅6.4mm,配合四边全面屏设计,94.3%的屏占比一眼望过去都是屏幕。背部还有“星空之门”反段式呼吸灯,放在桌面直接将氛围感拉满。同时,X3A采用前置音响设计,并由百年丹麦声学品牌Audio by Bang & Olufsen调校,声音更加沉浸。
追觅R8000F电视——全球首创动态声擎技术
追觅电视携INNIX高端影音产品全家福亮相,带来了覆盖家庭客厅、私人影院与高端影音空间的全场景视听解决方案。全球首创的动态声擎“变形电视”——INNIX Aura Mini LED R8000系列成为展会焦点,可以说是本次AWE最佳声学应用创新了。

不同于传统电视固定的声场结构,R8000通过声学结构与机械结构联动,使电视在形态变化的同时实现声场动态调整,让声音与用户位置保持同步。其中R8000F采用可伸缩旋转音响一体化结构,并搭载AFS主动追随系统与毫米波雷达感应技术,能够实时识别用户位置并动态调整声场方向,实现“音随人动”的观影体验。通过360度动态声场系统与6.2.2声道追随式伸缩扬声器结构,无论用户在客厅哪个位置,都能够获得最佳声场指向。

此外,在画质方面,R8000系列还搭载独家黑晶臻彩屏技术,拥有1.28%超低反射率与AG25防眩光结构,并通过逐台色准校准算法实现ΔE<1专业级色准与DCI P3≥98%的色域表现。同时,Dreamind Master AI音画处理器融合10大AI算法,实现对画面清晰度、色彩与音效的实时优化。
石头A30 Pro Steam 2.0——高温蒸汽与热水双效洗地技术
在AWE2026,石头科技通过多款智能清洁产品与创新技术,全面展示在家庭清洁与智能家电领域的最新成果。
全新推出的A30 Pro Steam 2.0带来了180℃活性蒸汽、超能蒸汽模式、90℃热水洗地,不管是地面上看得见的油污、顽固污渍,还是看不见的细菌、螨虫、过敏原,都能高效清除,兼顾深度洁净与健康除菌。其中超能蒸汽模式支持一键爆喷180°C活性蒸汽。凭借高达5000Pa的高压穿透力与4000mg/min的澎湃蒸汽量,实现对地面污垢的瞬时软化与深层剥离。

此外,90°C高温活水洗地技术对抗重度黏腻油污能一拖即净。配合全面升级的25000Pa飓风级吸力,干湿垃圾均能实现瞬时吸除。此外,180°C蒸汽自清洁系统可对滚刷及基站进行深度除菌,从源头杜绝细菌滋生与二次污。

值得注意的是,在AWE2026期间,石头联合人民日报健康客户端发布了《家庭地面清洁标准白皮书》。定义了家庭地面清洁安全标准的这六个核心维度,让“健康清洁”第一次有了可量化的标准。而A30 Pro Steam 2.0洗地机,就是完全贴合白皮书标准的“金标”产品。
索尼新一代RGB电视——真彩RGB背光技术
索尼此次以双馆联动的形式参展,在主会场打造了覆盖电影、游戏、动画三大核心家庭娱乐场景的沉浸式体验空间。备受关注的亮点是,索尼新一代真彩RGB电视的亮相,这也是这台电视的画质全球首秀。

索尼新一代真彩RGB背光集中体现在广色域、精密灰阶控制、主动广视角三大维度,精准破解传统显示技术痛点。其色彩细节在屏幕从最暗到最亮的全域亮度范围内保持饱满与通透,显著改善高亮度画面下的色彩断层现象,在不同角度下仍能获得一致、精准的色彩与对比度体验。呈现出的色准、饱和度表现,和专业电影监视器放在一起对比,也丝毫不落下风。

播放电影时,它能深度还原色彩与光影细节,传递导演创作意图;在主机游戏中,出色的动态表现与细节渲染能力大幅提升了临场感;在观看高品质动画时,则能鲜活、纯净地还原其独特的艺术化色彩。
LG WashTower 25洗烘塔——AI洗护方案
LG电子首次以双馆联动形式参展,两大展区的差异化场景打造,让我们沉浸式体验LG的智能洗护、高端厨电、智慧显示等等产品产品,全方位了解LG的智能家居家具解决方案。

洗烘护解决方案区是本次展示的核心板块,到场的朋友可以体验LG在精细化衣物管理上的核心技术优势。其中LG WashTower 25洗烘塔采用一体式扁平化设计,具备20kg的洗涤容量和20kg的烘干容量,采用嵌入式一体化外观及扁平化机身设计。非常吸引人的就是WashTower 25的AI洗涤体验,AI智能传感可在放入衣物瞬间进行检测,并根据衣物的重量、材质和脏污程度,自动调动6种洗涤程序;浊度传感器能检测脏污程度,并决定洗涤剂投量;AI技术还可自动设定烘干时间和温度;AI智能时间感知功能可在衣物放入后,即时估算并显示洗涤或烘干的预计时间。LG WashTower 25还搭载6.8英寸一体式宽屏LCD触控显示屏,控制更方便,还能在屏幕查看整个洗涤和烘干过程。
落幕的AWE2026,不仅是一场汇聚全球科技力量的盛宴,更是AI技术赋能生活的生动缩影。从TCL的屏显革新、追觅的影音突破,到石头的健康清洁、索尼的画质升级,再到LG的智能洗护,五款重磅产品用硬核创新诠释了“AI科技 慧享未来”的主题,也勾勒出智能家居与消费电子领域的发展新方向。这场展会的圆满收官,不是科技探索的终点,而是更多智能好物走进寻常百姓家、让生活更便捷、更舒适、更具质感的新起点。
" alt="沉浸式体验AWE2026前沿科技,这五款硬核产品凭实力出圈">“五一”小长假期间,上海各大景区迎来了客流高峰。然而,在欣赏美景和记录美好瞬间的同时,游客们往往容易忽视安全问题。5月3日凌晨5时52分,浦东新区消防救援支队滴水湖消防救援站接到紧急报警,一名男子在海基五路靠近东海大桥处的小飞鱼滩被困海中。接警后,消防人员迅速出动,赶往现场进行救援。

图说:救援现场 浦东消防供图
救援人员到场后发现,该男子被困在距离岸边大约20米的防浪石上,潮水正在上涨,水深已达4.3米,且已淹没至男子小腿,并继续上涨。面对这一紧急情况,消防人员迅速穿戴好个人防护装备,并做好了绳索保护措施。一组救援人员利用救援桨板下水营救,另一组则在岸边严阵以待,做好接应准备。经过紧张而有序的救援行动,6时09分,被困男子被成功救至岸边,安全脱险。
消防部门特别提醒广大游客:在海边游玩时,请务必密切关注海水涨落情况,切勿涉足危险区域。如遇紧急情况,请第一时间拨打救援电话求助,确保个人安全。
记者 曹博文 通讯员 王彩焕
" alt="潮水上涨男子被困防浪石,浦东消防紧急救援">
《孤岛惊魂:新曙光》离发售还有不到一个月时间,作为《孤岛惊魂5》的剧情续作,本体游戏日前已经开发完毕。这款即将到来的开放世界射击游戏的技术总监Raphaël Parent在Twitter上宣布游戏已经送厂压盘。
育碧最近曾解释说《孤岛惊魂:新曙光》将有轻量RPG机制,为游戏带来更多深度。在游戏中玩家可以打造有等级的枪械,枪械的等级有利于对抗同样有等级的敌人。
在一场全球化的核灾难发生17年之后,《孤岛惊魂:新曙光》将玩家们来到野性壮美、彻底改变的希望郡蒙大拿州。生命从混沌之中孕育而生,但幸存者们正面临新的威胁——无情的“拦路强盗”和他们的双胞胎头领米琪和露。在法外之地长大的这对双胞胎姐妹和手下的爪牙只为活在当下,他们席卷希望郡以夺取所有可用的资源。为了抵抗这个毁灭性的威胁,玩家必须帮助幸存者们发展壮大,打造临时军备,联合不期而遇的盟友在全新的疆界为生存而战。
在基地中,玩家将准备面对来自”拦路强盗”的威胁。游戏中被称为“繁荣镇” 的基地是幸存者们的据点。在这里,玩家能够打造临时武器以及载具,并在此训练反抗势力(Guns for Hire),其中不乏新人和老面孔。随着游戏进程的深入,玩家能够升级基地来解锁更强力的武器和装备。作为《孤岛惊魂》首次使用的游戏设定,冒险将不仅仅局限于此,基地还能进行“远征”。跨越美国各处的难忘之地,从湿地到峡谷,“远征”将把玩家带到独特的地点,而玩家必须尽可能地搜刮有价值的材料并尽快离开。
《孤岛惊魂:新曙光》简体中文版将于2019年2月15日发售,登陆PS4、Xbox One以及PC平台。
" alt="《孤岛惊魂:新曙光》2月中旬发售 进入压盘阶段">

这份从容与专业,正是丰泽区多年深耕人才培训的成果体现。近年来,丰泽区文体旅游局常态化开展公益讲解员培训和导游(讲解员)服务技能培训,持续打造一支懂文化、会讲解、善服务的文旅人才队伍。今年春节,这些经过系统培训的讲解员从教室走向一线,分时段驻守热门景区景点,将课堂所学转化为服务游客的实际行动。

在泉州少林寺,武僧们的精彩表演引得阵阵喝彩,而在表演场外,公益讲解员也忙碌不停,协助分发春联、赠粥送暖,用生动的语言为游客讲述南少林禅武文化的源远流长,让游客在感受功夫魅力的同时,更深入理解其背后的文化根脉。

守山人也是暖心人
世遗故事口口相传
春节期间,清源山景区游客激增,“守山人”公益讲解员们不仅承担讲解任务,还协助景区维持秩序、引导车辆、提供咨询等服务,为游客讲述老君岩造像这一世界遗产点的千年故事。

一位讲解员分享道,自己接待了来自北京、广东、上海等地的多批游客,其中一位北京游客由衷称赞:“泉州、丰泽真的太好了,很多景点不收门票,市民又特别热情,让人好感倍增。”在讲解员们看来,能把丰泽的美好传递给更多人,他们自己也收获满满的成就感。

文旅推荐官助力
志愿服务再添新力
值得一提的是,丰泽文旅推荐官——“海丝泉州推荐官”大赛选手们也积极加入公益讲解队伍,他们以实战锤炼本领,以服务回馈社会,用青春热情和专业表达,为游客带来极具感染力的文化体验。他们的加入,不仅壮大了公益讲解力量,也为丰泽文旅志愿服务注入了新的活力。

正是这群公益讲解员和文旅推荐官的默默付出,让丰泽文旅市场不仅有“热度”,更有“温度”。他们用实际行动践行了“奉献、友爱、互助、进步”的志愿精神,展现了丰泽文旅人的专业素养和家国情怀。
新的一年,丰泽区将继续深化讲解员队伍建设,培养更多优秀文旅人才,让丰泽声音传得更远、丰泽故事讲得更响,让每一位游客都能在丰泽感受到家一般的温暖。
原标题:丰泽:文旅公益讲解员 以热忱服务为文旅活动添彩" alt="丰泽:文旅公益讲解员 以热忱服务为文旅活动添彩">
不過黨內仍憂心此舉恐直接衝擊年底選情。對此,鄭麗文表示,兩岸和平交流本就是選舉利多,並反問,若要確認兩岸朝和平方向發展,來自中國大陸領導人習近平的背書與表態,難道不重要嗎?
不僅兩岸路線恐消耗選戰能量,也有國民黨立委針對總預算案語重心長指出,地方早已出現反彈聲浪,並盼立法院長韓國瑜能尋求朝野皆可接受的方式,盡速推動總預算全案審查。
台北/蔡昀彤、彭以德 責任編輯/蔡尚晉
" alt="鄭習會不只一次! 鄭麗文:兩岸仇恨無法一夕解決、和平是唯一出路">2025年3月19日


針對法人關注的股利配發率,蕭玉美說明,過去兩年華南金現金股利配發率均維持在 7 成以上,今年將綜合考量子公司現金股利上繳情形、財務比例、股利配發穩定性、現金流量及各子公司資本需求,並兼顧股東權益。
蕭玉美指出,去年華南金配發現金股利 1.25 元與股票股利 0.1 元,在 114 年獲利創高基石下,今年整體股利水準有望提升,預計 4 月提報董事會通過後正式公告。
為長期提升競爭力及永續發展,華南金控啟動「五年策略發展藍圖」。蕭玉美指出,新藍圖在既有的資本管控基礎上,進一步拉長時間軸,目標是從過去的「小而美」轉向「集團大化」規模發展。
蕭玉美強調,未來五年集團的複合成長率預計將達到高位數(High Single Digits)水平。針對 115 年度(2026 年)的營運目標,預期在持續優化獲利結構與提升資本使用效率的帶動下,今年獲利有望較去年成長一成以上。
在手續費收益方面,華南銀行對財富管理業務展現高度信心。目前華南銀行往來資產達 1 億元以上的高資產客戶數已突破 2300 人。華南銀主管補充,華南銀成立已逾百年,許多長期合作的中小企業夥伴正是高資產業務的主要來源,預期客戶數將隨台灣經濟動能一同成長。
此外,華南銀行正積極將全台高資產客戶引薦至亞資中心高雄專區開戶,以享有試辦業務相關服務。配合數位理財工具的優化,預估 115 年(2026 年)的手續費淨收益目標成長率將落在 5% 至 18% 之間。
" alt="〈華南金法說〉47萬股東敲碗「8成」配發率! 總座:股利「可以期待」優去年 以現金為主" class="hezuoLeftImg"/>PChome 3月17日消息,自2021年推出Galaxy Z Fold3以来,三星大折叠手机的电池容量一直固定为4400mAh,续航方面只能依靠高能效的芯片以及系统优化来提升,但这种玄学的续航提升,显然是不被消费者认可的。
而有意思的是,2020年推出的Galaxy Fold2反而配备了更大的4500mAh电池。三星对电池容量的停滞不前,显然是相当不合理的做法。在原地踏步多年后,三星终于要对此做出改变。据最新传闻称,三星Galaxy Z Fold8将提升电池容量,只是增幅不算特大。

PChome获悉,三星Galaxy Z Fold8的电池容量将直接提升至5000mAh,与Galaxy S26 Ultra保持一致。即便如此,电量在2026年的手机市场也不算亮眼,不过与4400mAh的电池相比,已经提升了14%的电量,对三星来说已经是大升级了。
当然,5000mAh的电池并不是足额的,Galaxy Z Fold8采用双电芯设计(左右各一块),两块电池的额定容量分别为2369mAh和2485mAh,合计4854mAh,三星将会以5000mAh的典型容量进行宣传。
除此之外,三星在今年可能还将推出一款宽幅版的折叠屏手机,该机有着与苹果iPhone Fold相近的机身形态,从而可以对苹果进行直接竞争,这款手机的电池容量约为4900mAh。
" alt="5000mAh电池 三星Galaxy Z Fold8终于升级续航" class="hezuoLeftImg"/>




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7)宣扬低俗、庸俗、媚俗内容。
5. 不实信息,主要表现为:
1)可能存在事实性错误或者造谣等内容;
2)存在事实夸大、伪造虚假经历等误导他人的内容;
3)伪造身份、冒充他人,通过头像、用户名等个人信息暗示自己具有特定身份,或与特定机构或个人存在关联。
6. 传播封建迷信,主要表现为:
1)找人算命、测字、占卜、解梦、化解厄运、使用迷信方式治病;
2)求推荐算命看相大师;
3)针对具体风水等问题进行求助或咨询;
4)问自己或他人的八字、六爻、星盘、手相、面相、五行缺失,包括通过占卜方法问婚姻、前程、运势,东西宠物丢了能不能找回、取名改名等;
7. 文章标题党,主要表现为:
1)以各种夸张、猎奇、不合常理的表现手法等行为来诱导用户;
2)内容与标题之间存在严重不实或者原意扭曲;
3)使用夸张标题,内容与标题严重不符的。
8.「饭圈」乱象行为,主要表现为:
1)诱导未成年人应援集资、高额消费、投票打榜
2)粉丝互撕谩骂、拉踩引战、造谣攻击、人肉搜索、侵犯隐私
3)鼓动「饭圈」粉丝攀比炫富、奢靡享乐等行为
4)以号召粉丝、雇用网络水军、「养号」形式刷量控评等行为
5)通过「蹭热点」、制造话题等形式干扰舆论,影响传播秩序
9. 其他危害行为或内容,主要表现为:
1)可能引发未成年人模仿不安全行为和违反社会公德行为、诱导未成年人不良嗜好影响未成年人身心健康的;
2)不当评述自然灾害、重大事故等灾难的;
3)美化、粉饰侵略战争行为的;
4)法律、行政法规禁止,或可能对网络生态造成不良影响的其他内容。
二、违规处罚
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